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英特尔(INTC.US)周一暗意，阿斯麦(ASML.US)的首批两台先进光刻机已在其工场“参加分娩”。早期数据自大，这些新式光刻机比旧款机型更可靠。

英特尔高档首席工程师Steve Carson在加州圣何塞举行的会议上暗意，英特尔运用阿斯麦的高数值孔径(NA)光刻机在一个季度内分娩了3万片晶圆，这种大型硅片不错分娩数千颗筹备芯片。

昨年，英特尔成为公共首家接纳这些机器的芯片制造商，预测这些机器将分娩比阿斯麦旧款机型更小、更快的筹备芯片。此举符号着英特尔计谋的更始，该公司在给与上一代极紫外 (EUV) 光刻机方面过期于竞争敌手。

Carson暗意，在当先的测试中，阿斯麦高数值孔径光刻机的可靠性大概是前一代机器的两倍。

Carson暗意：“咱们以隆重的速率分娩晶圆，这对平台来说是一个宏大的福音。”

Carson暗意，英特尔工场的早期效果自大，高数值孔径光刻机只需一次曝光和“个位数”的惩办形状就能完成旧款机器需要三次曝光和大概40个惩办形状智商完成的使命。

英特尔曾暗意，筹备使用高数值孔径光刻机来匡助建立所谓的18A制造时间，该时间筹备于本年晚些时间与新一代个东谈主电脑芯片沿途进行量产。

该公司暗意，筹备运用下一代制造时间14A将高数值孔径光刻机参加全面分娩，但尚未表露该时间的量产日历。

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